第一、使用前各项附件、开关以及仪器的检查
在真空退火炉工艺生产的过程中避免不了高温条件，所以对于安全以及仪器自身的检查是操作之前的重要部分。在开始仪器操作之前一定要检查各项附件是否工作正常、各个开关是否处于闭合状态、仪器各表是否存在较大误差以及损坏和各电路线头是否有松脱老化现象。
第二、开炉和停炉过程中的正确操作以及关于安全的注意事项
若确认所有步骤均处于正常状态下，就可以打开相应开关以及放入物料并且开启各个组成部分的开关。当机器开始运行的时候可以将部分仪器打开自动挡，将操作模式转换为手动以后依次打开仪表进行测量。
第三、生产过程中数据的记录以及整理
在测量的过程当中要及时读数，并且把数据记录到提前准备好的表格当中，然后实时观察炉腔内的温度以及压强，如果存在超出常理的读数以后一定要及时停止并且检查仪器。
第四、生产结束以后仪器的整理
如果操作过程中没有意外情况出现，则根据工艺要求在仪器表盘上提前设置好所有的参数，然后进行操作过程结束的收尾工作，把所有的仪表盘在冷却之后进行整理并且断开开关，则整个生产过程结束。
